第43回 市村産業賞 本賞 -01
平坦化SiO2膜/Cu電極/基板構造小型弾性表面波デュプレクサ
技術開発者 | 株式会社 村田製作所 技術・事業開発本部 門田研究室 |
技術開発者 | 同社 同本部 開発1部 |
技術開発者 | 同社 EMI事業部 商品開発部 |
開発業績の概要 |
米国のPCS方式携帯電話システムでは送信周波数と受信周波数との間隔が非常に狭くそれらが混信しないように温度安定性と急峻な周波数特性を、また全世界向WCDMA方式等では低消費電力のため温度に依存しない低挿入損失をもつデュプレクサが要求される。更に、周囲温度変化以外にも、携帯電話への投入電力による発熱から生じる周波数変動があるため、なお一層の温度安定性が必要である。一方、温度特性が良好な誘電体デュプレクサ(図3(a))は形状が非常に大きく、高価なため、小型、低価格な弾性表面波(SAW)を用いたデュプレクサが望まれていた。しかし、Al電極がLiTaO3やLiNbO3圧電基板上に形成された従来のSAW素子の温度特性は-42〜-120ppm/℃(1℃当りの周波数変動量)と悪く、温度安定性の良好なSAWデュプレクサは実現されていなかった。 |
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