第43回 市村産業賞 貢献賞 -02
非冷却高感度赤外線カメラの開発と実用化
技術開発者 |
日本電気株式会社 誘導光電事業部 |
技術開発者 | 同社 ビジネスイノベーションセンター兼システムIPコア研究所 主任研究員 田中 昭生 |
技術開発者 | 同社 誘導光電事業部 部長 飯田 潔 |
推 薦 | 社団法人電気通信協会 |
開発業績の概要 |
真の暗闇での監視や非接触での温度計測の目的で、赤外線カメラのニーズは高まっている。従来主流であった量子型赤外線センサは感度が高いものの冷却装置を必要とした。一方、熱型センサは赤外線を熱として検知する原理から、センサを冷却する必要がないため、小型化、低電力化、メンテナンスフリーの可能性を秘めているが、温度分解能は悪く実用には限界があった。従来の熱型センサは、微弱な検出器信号の読み出しにホイートストンブリッジ回路とオペアンプを用いていたが、チップ上に数100並べるオペアンプのノイズが支配的となる問題が生じた。さらに画素数を増やすため画素サイズを縮小すると、受光面積が減って信号量が減少する問題も生じていた。そのため温度分解能向上と高画素数化の両立には、低ノイズ読み出し回路と感度劣化を抑える微細セル技術の開発が必須であった。 |
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