第54回 市村学術賞 貢献賞 -02
酸化ガリウムデバイスの先駆的研究開発
技術研究者 | 国立研究開発法人 情報通信研究機構 未来ICT研究所 小金井フロンティア研究センター 室長 東脇 正高 |
推 薦 | 国立研究開発法人 情報通信研究機構 |
研究業績の概要 |
世界的規模での省エネ・温室効果ガス削減に対しては、電力変換用半導体パワーデバイスの高効率化が有効な手段の一つである。一方、現状のシリコン (Si) を材料とするパワーデバイスの性能向上はほぼ限界に達しており、今後大幅な効率向上は期待できない。酸化ガリウム (Ga2O3) は、その非常に大きなバンドギャップに起因する物性から、Siに換わる高効率パワーデバイス材料として有望である。また、融液成長バルクから基板を低コストで製造できるという産業化に向けて重要となる利点も有する。このように、性能・コスト両面で強みを持つGa2O3のパワーデバイス材料としての可能性に受賞者は一早く着目し、数々のデバイス基盤技術を独自に開発してきた。
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