第55回 市村学術賞 功績賞 -01
半導体デバイスの進展を支える新規配線材料技術の開発
技術研究者 | 東北大学 大学院工学研究科 教授 小池 淳一 |
推 薦 | 東北大学 |
研究業績の概要 |
半導体集積回路(IC)の高速化と高集積化を実現するために、トランジスタと多層配線のサイズが継続的に微細化されてきた。しかし、微細化の進展に伴って多層配線に関わる二つの大きな課題が顕在化し、45nm世代以降のICの量産が危ぶまれていた。第一の課題は、Cu配線と絶縁層を隔離するバリア層が高抵抗であることに加えて一定以上(>5nm)の厚さが必要であったため、配線部の実効電気抵抗が上昇すること。第二の課題は、電流密度が上昇するためエレクトロマイグレーション(EM)による配線短絡や断線不良が頻発することであった。
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