助成テーマ完了認定企業紹介 036
第95回 平成27年度第1次助成テーマ
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開発技術の概要 |
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半導体ウェハー等の生産用のプラズマ加工装置の内部でウェハー加工中にアーク放電が発生すると生産中のウェハー或いは加工装置自体に損傷を与える。このような事態が生じるとウェハーの歩留まりが低下し、加工装置の稼働率低下も伴って工場の生産効率が低下する。私たちはプラズマ加工装置内部の各種の放電を検出、記録し、膨大なデータを解析することによってアーク放電につながる予兆波として小規模な火花放電（タウンゼント放電）の連続が重要な役割を果たしていることを突き止めた。今回実用化した技術は、一定強度を超える火花放電が一定の周期（0.2〜20.0μs）以下で一定時間（2〜999μs）以上継続するかどうかをプラズマ装置ごとに監視する技術である。もし設定値を超えた事象を検出した場合にはその情報を無線LAN経由で中央のパソコンに送出し、表示、記録する。
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これからの計画 |
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少数ロットの売り切り、多数のプラズマ加工装置の並列監視システムとしてのレンタル或いはリース契約、データ監視・運用サービス等も含めた多くのビジネス形態を追求する。 パイロット運転による評価を募集中です。 半導体ウェハー生産用のみでなくその他の加工用プラズマ装置への応用も可能です。 |
企業からのお願い |
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本システムはプラズマ加工装置のアプリケーションの種類によって設定条件が変化する可能性があるので、まずは、試みに使ってみていただく事から始めさせていただきたいと考えています。半導体工場以外でも異常な放電で加工むらや傷が生じるなどの事例が発生する事もあります。お気軽にご相談ください。 |
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